螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，它是油封式真空泵的更新換代產品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內制藥、化工、半導體等對清潔真空要求較高的企業領域得到廣泛應用。

　　各種真空泵的發展愈來愈受到真空應用場合的影響，一般的真空系統無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產品已經出現更新換代的局面,大量的有油真空系統已被無油清潔的真空系統所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點得以廣泛應用。
 

　　干式螺桿真空泵由于其*的性能，在歐美和日本已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業選真空獲得設備，日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發出了真空泵的多頭轉子型線，并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發出了等螺距、變螺距轉子型線，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。

　　拆卸步驟：

　　1.未拆卸前，先測量并記錄轉子各部分間隙。

　　2.盡量避免用重錘敲打，拆下的零件不得碰傷，妥善保管好。

　　3.真空泵與電機脫離，排空介質(防止電機、有毒介質傷人);

　　4.拆卸真空泵排出體;

　　5.拆卸真空泵定子，必要時按泵軸方向盤動軸作輔助;

　　6.拆卸轉子及中間軸;

　　7.拆卸傳動軸和軸封;

　　8.取出真空泵軸承、定位套，應從軸承座內取出;將需要更換的零部件的更換原因及使用情況詳細記錄下來。

　　9.長期不用時，要作防銹處理，方法為用防銹脂涂抹非油漆金屬表面，包括軸表面、填料殼體內腔等，并進行潤滑。